Imec がチップ工場の CO2 排出量を削減する高度なリソグラフィーを披露 from venturebeat.com

imec は、先進的なチップ工場向けに、リソグラフィーとエッチングを使用してチップ上にパターンを製造する気候に優しい方法を発表しました。
この発表は、Iméc が重要なプロセスにおける CO2 の直接排出を削減するための持続可能な代替案を提示した Advanced Lithography + Patterning Conference 中に行われました。
2021 年に生産された半導体デバイスは 175 メガトンを生成しました。
これは、3,000 万人が年間に排出する量に相当します。
Imecは、この技術により、将来的にはエッチングおよびフォトリソグラフィープロセスによる二酸化炭素排出量を削減できると述べた。